جزوه کامل تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی نوشته استاد فرامرز حسین بابایی دانشگاه خواجه نصیرالدین طوسی در591 صفحه به صورت pdf شامل فصل های زیر:

فصل اول : ساختار جامدات

فصل دوم : سیلیکون از معدن تا صنعت الکترونیک

فصل سوم : رشد بلور

فصل چهارم : آماده سازی ویفر

فصل پنجم : اکسیداسیون

فصل ششم : زدایش

فصل هفتم : فرایند نفوذ

فصل هشتم : کاشت یون

فصل نهم : لیتو گرافی کلاسیک

فصل دهم : لیتو گرافی پیشرفته

فصل یازدهم : فلز کاری

فصل دوازدهم : بسته بندی

فصل سیزدهم : اتاق تمیز

فصل چهار دهم : ارزیابی فرایند ها و قطعات

از لینک زیر میتوانید فایل pdf کتاب را دریافت نمایید .